硅片清洗剂

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产品介绍


PRODUCT CHARACTERISTICS


       心明阳硅片清洗剂是针对性去除硅片表面的颗粒、有机物、金属离子等污染物的水基清洗剂,清洗剂中的活性物质可以吸附在硅片表面,使其长期处于易清洗的物理吸附状态,并在表面形成保护层,防止颗粒的二次吸附,能有效提高外延或扩散工序的成品率。


      应用领域:用于半导体硅片器件、薄膜技术中的玻璃和金属表面浸渍、喷淋、超声波的清洗。


产品特点


PRODUCT FEATURE


清洗除油效果好,洁净度高


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对工件表面无腐蚀,不变色


槽液使用寿命长,易维护,不漂油,不返沾油污


√ 无残留,易漂洗


√ 低气味,不腐蚀,无毒,无污染


√ 符合欧盟RoHS认证要求


清洗快   不腐蚀   易漂洗   环保无味不伤手



工艺流程


PROCESS FLOW


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注意事项


PRECAUTIONS FOR USE


  • 使用方式

    恒温浸泡清洗或超声波清洗

  • 使用方法

    按比例稀释成工作液后,加热至50-60度,恒温浸泡5-10分钟,或超声波清洗2-3分钟。对于重污垢工件,延长清洗时间或使用多槽多次方式彻底清洗干净。

  • 工作液维护

    1、定期检查槽液温度、液位,及时补水及相应比例补加原液。
    2、按规定时间定期更换槽液。

品牌
心明阳
外观
无色至微黄色液体
密度
1.04~1.06g/L
PH值
3-5或6-9或11-13(工作液)
安全
不可燃,无腐蚀
环保
无磷,不含卤素,符合欧盟RoHS要求
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