产品介绍 | ||
PRODUCT CHARACTERISTICS
心明阳硅片清洗剂是针对性去除硅片表面的颗粒、有机物、金属离子等污染物的水基清洗剂,清洗剂中的活性物质可以吸附在硅片表面,使其长期处于易清洗的物理吸附状态,并在表面形成保护层,防止颗粒的二次吸附,能有效提高外延或扩散工序的成品率。
应用领域:用于半导体硅片器件、薄膜技术中的玻璃和金属表面浸渍、喷淋、超声波的清洗。
产品特点 | ||
PRODUCT FEATURE
√ 清洗除油效果好,洁净度高 | ![]() | |
√ 对工件表面无腐蚀,不变色 | ||
√ 槽液使用寿命长,易维护,不漂油,不返沾油污 | ||
√ 无残留,易漂洗 | ||
√ 低气味,不腐蚀,无毒,无污染 | ||
√ 符合欧盟RoHS认证要求 |
清洗快 不腐蚀 易漂洗 环保无味不伤手 |
工艺流程 | ||
PROCESS FLOW
注意事项 | ||
PRECAUTIONS FOR USE
恒温浸泡清洗或超声波清洗
按比例稀释成工作液后,加热至50-60度,恒温浸泡5-10分钟,或超声波清洗2-3分钟。对于重污垢工件,延长清洗时间或使用多槽多次方式彻底清洗干净。
1、定期检查槽液温度、液位,及时补水及相应比例补加原液。
2、按规定时间定期更换槽液。