芯片清洗剂:解决硅结构芯片残胶问题的高效解决方案

2025-08-07

在微电子制造工艺中,芯片清洗是确保良率与可靠性的重要步骤。芯片在封装或切割后常会残留胶类污染物,尤其是以硅树脂为代表的有机胶体,这些残留物若未被彻底清除,将严重影响后续制程及产品性能。


芯片清洗剂.jpg


对于具备微结构(如硅柱、硅鳍片或MEMS结构)的芯片,清洗过程更为严苛。传统的超声波清洗虽在去污方面表现良好,但其高频振动可能导致微结构的物理损伤,如断裂、形变等。为降低此类风险,喷淋清洗工艺逐渐成为主流替代方案,而适配此类工艺的芯片专用清洗剂也随之成为核心关键。


针对上述问题,适用于喷淋工艺的芯片清洗剂需具备以下性能:


高效去除硅树脂等有机胶体
含有特殊极性溶剂和助溶剂的复配体系,能有效溶解或剥离硅类胶体而不损伤硅本体。


温和不腐蚀硅结构
不含强酸、强碱或氧化性成分,确保芯片结构完整性。


低泡或无泡配方,适配喷淋清洗系统
防止因起泡影响喷淋均匀性及清洗效率。


优异的材料兼容性
与金属(如铝、铜)、玻璃、聚酰亚胺等封装材料兼容,不残留、不腐蚀。


易漂洗、低残留
清洗剂在DI水中具良好分散性,便于后续漂洗和干燥,无离子残留影响芯片电性能。


对清洗工艺与化学品的要求也日益提高。选择一款针对性强、性能温和且高效的芯片清洗剂,是保障生产良率和产品可靠性的关键一步。未来清洗剂的发展方向也将更加环保、高效、智能,以适应半导体产业的快速演进。

分享